小面積上涂層厚度的測量是個(gè)頭疼的問(wèn)題，怎么選擇小面積涂層測厚儀呢？

我們先了解一下關(guān)于涂層厚度測量的基本知識，再逐步分析小面積上的涂層厚度的測量方式。涂層也叫覆層，涂層覆層厚度的測量方法主要有：楔切法，光截法，電解法，厚度差測量法，稱(chēng)重法，X射線(xiàn)熒光法，β射線(xiàn)反向散射法，電容法、磁性測量法及渦流測量法等。這些方法中前五種是有損檢測，測量手段繁瑣，速度慢，多適用于抽樣檢驗。生產(chǎn)中磁性法和渦流法是常用的涂層厚度測量方式，估計要占到95%以上。

X射線(xiàn)和β射線(xiàn)法是無(wú)接觸無(wú)損測量，但裝置復雜昂貴，測量范圍較小。因有放射源，使用者必須遵守射線(xiàn)防護規范。X射線(xiàn)法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線(xiàn)法適合鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量。電容法僅在薄導電體的絕緣覆層測厚時(shí)采用。

申明一下，我司（無(wú)錫君達儀器）所知道的知識也是有限的，太深奧的關(guān)于涂層厚度的測量機理也不懂，我們只是就自己掌握的東西和大家交流。文章謝絕復制和轉摘！

測量涂層厚度采用磁感應原理時(shí)，利用從測頭經(jīng)過(guò)非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小，來(lái)測定覆層厚度。也可以測定與之對應的磁阻的大小，來(lái)表示其覆層厚度。覆層越厚，則磁阻越大，磁通越小。

測量涂層厚度采用電渦流原理時(shí)，高頻交流信號在測頭線(xiàn)圈中產(chǎn)生電磁場(chǎng)，測頭靠近導體時(shí)，就在其中形成渦流。測頭離導電基體愈近，則渦流愈大，反射阻抗也愈大。這個(gè)反饋作用量表征了測頭與導電基體之間距離的大小，也就是導電基體上非導電覆層厚度的大小。

在涂層厚度的實(shí)際測量中，影響測量數據的度的因素有很多，比如邊緣效應，表面粗糙度以及變形基體的磁性能電性能等。

這里講到了邊緣效應，就關(guān)乎小面積上涂層厚度的測量了。當工件面積很小，比如直徑小于5毫米，那么無(wú)論是磁感應還是電渦流涂層厚度測量原理，傳感器所發(fā)出的磁場(chǎng)或電渦流，作用在基體上后，電磁場(chǎng)將會(huì )是不規則的，這就給主機的計算帶來(lái)的困難，具體表現為無(wú)顯示，或即使有顯示，測試涂層厚度數據和真實(shí)涂層厚度數據差異很大。

用戶(hù)如果自己的產(chǎn)品面積很小，用普通的測厚儀是無(wú)法測量的，常規的涂層測厚儀要求工件面積直徑10mm以上。因為小面積的涂層厚度的測量要求高同時(shí)市場(chǎng)需求很小，這就給涂層測厚儀的研發(fā)帶來(lái)了效益上的考慮。目前，國內的小面積涂層厚度測量還是個(gè)薄弱環(huán)節，雖然標稱(chēng)zui小可測5毫米，但效果差強人意。國外（德國）的有測到磁性3毫米渦流2毫米的，使用起來(lái)還可以。國內的如TT260配F400探頭和CNO2探頭，探頭和主機需要較真（用戶(hù)不要動(dòng)手?。﹪獾?/span>EPK的1100配N02探頭和F05探頭。具體的還需要進(jìn)一步交流。

同時(shí)，正因為小面積的涂層厚度的測量基本已經(jīng)達到本身小面積涂層厚度測量的極限，所以，在小面積的涂層厚度的實(shí)際測試時(shí)，涂層厚度的測試精度，客戶(hù)不要太較真。

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